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Pfeiffer   *PT R26 770 B

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江蘇邱成機電有限公司
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德國普發(fā)pfeiffer有著(zhù)的技術(shù)、可靠的產(chǎn)品以及超過(guò)100年歷史的出色服務(wù)。產(chǎn)品系列涵蓋了單個(gè)配件到綜合真空系列以及服務(wù)。
普發(fā)pfeiffer真空計特點(diǎn)：
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2.工作環(huán)境溫度為 +5 - +55 ℃，大壓力為 10 bar；  
3.結構緊湊；
4.集成簡(jiǎn)單；

普發(fā)pfeiffer真空計適用領(lǐng)域：檢漏系統、真空表面、鍍膜、加速器實(shí)驗

真空計（Vacuum Gauge），又名真空表，是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應的變化進(jìn)行氣壓的測量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用。

分類(lèi)原理介紹

編輯

按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制，可將主要的真空計分為三大類(lèi)，分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動(dòng)力學(xué)效應和利用帶電粒子效應的真空計。

利用力學(xué)性能的真空計典型的有波爾登規（Bourdon）和薄膜電容規；利用氣體動(dòng)力學(xué)效應的典型真空計有皮拉尼（Pirani）電阻規和熱電偶規；利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規和冷陰極電離規。

波爾登規

波爾登規

如右圖所示，細的銅管受氣體壓力不同會(huì )有舒展現象，會(huì )帶動(dòng)杠桿和齒輪旋轉，使得指針指示在不同刻度上，即可讀出相應的氣壓值。

這種規的測量范圍一般在100Pa至1atm。

薄膜電容規

薄膜電容規

如右圖所示，在不同壓力下金屬膜片受力不同會(huì )有不同尺度的變形，使得金屬膜片和電極之間的電容變化，通過(guò)測量電容的變化量，即可知道金屬膜片上氣壓的變化。

這種規的測量范圍一般橫跨4個(gè)量級，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。

這種規的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度很高。缺點(diǎn)是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用，以消除溫度不同對膜片力學(xué)性能的影響，使用前一般需要預熱數小時(shí)。

皮拉尼電阻規

皮拉尼電阻規

也叫做熱電阻真空計，它是利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作的。

如右圖所示，由于不同氣壓下氣體分子熱傳導能力不同，當給熱絲加恒定的電流時(shí)，由于氣壓不同通過(guò)氣體傳導走的熱量不同，熱絲所保持的溫度就不同，這導致熱絲電阻大小不同，通過(guò)測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。

如果配合電橋測量熱絲電阻的變化，將有效提高測量的準確度。

這種規的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。

由于不同氣體在相同氣壓時(shí)導熱性不同，所以這種規需要在不同的使用氣體下標定。

熱電偶規

熱電偶規

如右圖所示，熱電偶規與皮拉尼電阻規基本原理一致，只是它不用測量熱絲電阻的變化，而是用熱電偶直接測量熱比的溫度變化。

測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。

與皮拉尼電阻規一樣，這種規也需要在不同的使用氣體下標定。

熱陰極電離規

熱陰極電離規

如右圖所示，熱陰極電離規中，由熱陰極即燈絲發(fā)射電子，電離真空中的氣體分子，產(chǎn)生離子，由收集極收集產(chǎn)生的離子，形成離子電流，通過(guò)測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度，進(jìn)而得到氣壓大小。

這種規的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。

經(jīng)改進(jìn)后的熱陰極電離規，Bayard-Alpert規，可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。

由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同，這種規在使用時(shí)也需要在不同氣體下進(jìn)行標定。

冷陰極電離規

冷陰極電離規

如右圖所示，冷陰極電離規也是通過(guò)電離氣體分子收集離子電流的方法進(jìn)行氣壓測量，但與熱陰極電離規不同的是，它是利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子。

這種規的測量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。

與熱陰極電離規同樣的原因，這種規在使用時(shí)需要在不同氣體下標定。